1. 國立清華大學半導體研究學院組織規程

2. 國立清華大學半導體研究學院管理委員會設置辦法

3. 國立清華大學半導體研究學院監督委員會設置辦法

4. 國立清華大學半導體研究學院產學評議會設置辦法